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激光微纳制造与测量研究组
超快激光运用在加工与测量中具有灵活性高、精度高、表面质量好等优点，在集成电路、光芯片、3D打印、航空航天等领域均有重要应用。甬江实验室激光微纳制造与研究组立足超快激光关键共性技术，致力于解决微纳尺度制造及精细测量中的一系列基础科学问题，开发新型制造与测量技术，为科研与产业相关瓶颈问题提供解决方案。目前，研究组聚焦光电芯片先进封装与测量技术中的关键问题，重点开展空间三维光波导刻写、多场探针微纳测量方向的研究。其中，空间三维光波导刻写技术能够实现任意光电独立器件之间的高效自由连接，属于国际首创的前沿技术，该技术对实现大规模光电混合集成，突破传统芯片计算、通信性能瓶颈具有重大意义。
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